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    12英寸大面積專用離子減薄儀(MU700)
    發布日期:2021-03-11

    關鍵詞:RIE、RIBE、反應離子束刻蝕、CAIEB、化學輔助離子束刻蝕、

                    過渡金屬、磁性材料、MRAM、GMR、TMR、Pt、Cu、TeGe、PZT

     

    型號:MU700S;    產地:歐洲;  

    應用:過渡金屬, PZT, 磁性材料(MRAM, GMR, TMR), Pt, Cu, TeGe ;

     

    代表性用戶:法國科學研究中心(CNRS)、意法半導體(ST)

     

    RFICP源:束徑可達 220 mm

     

    采用分子泵或低溫泵+干泵組合真空系統

     

    均勻性:+/- 5%  on 290 mm襯底

     

    水冷樣品臺,襯底尺寸最大可達直徑300mm

     

    樣品臺可以傾斜和旋轉

     

    配套SIMS用于刻蝕監控

     

    配置Load Lock

     

    控制系統:全自動控制,半自動和手動模式可用
                  支持多級用戶權限設置和管理
                  支持設備遠程操作、監控、診斷和維護
                  系統自動報警及定位故障

     

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