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    大面積多晶光學金剛石窗口解決方案
    發布日期:2021-03-11

    我公司提供大面積多晶光學級金剛石窗口(100-150mm)解決方案:

     

    第一步:生長

    1. 襯底準備,包括:選材、襯底表面處理、晶種及相關工藝

    2. 生長控制:采用CVD設備,將準備好的襯底放入樣品臺,在適當的工藝條件下生長(控制功率、氣壓、流量、襯底溫度、生長時間)。

    3. 生長完成:在獲得設定的厚度后停止生長

    可獲得光學級(透過率>68%@10.6μm)、大面積(直徑100-150mm)、厚片(1.2-2mm)

     

    第二步:拋光

    采用專門的 拋光設備+特制 拋光液進行研磨、磨平、拋光。

    可獲得:1) 單晶表面粗糙度1nm,平整度0.2波長;2)多晶窗口表面粗糙度20-50nm,平整度0.2波長。

     

    第三步:切割

    采用專用激光切割機,可獲得長方形、三角形、圓片等規則高精度形狀光學元件。

     

    第四步:鍍膜

    采用多種物理氣相沉積手段,可以實現高品質增透膜。

    可獲得:1)透過率>90% (1064nm);2)透過率>96%(10.6μm)

     

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