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    (激光/電子束) 輔助化學束外延系統MOMBE/GSMBE
    發布日期:2021-03-11

    關鍵詞:金屬膜、氧化膜、分子束外延、MBE、化學束外延、CVD、激光輔助

                    GSMBE、MOMBE、半導體膜、氧化膜、III-V族、 氣源分子束外延    

                InAs/GaAs量子點激光器、GeSi/Si、GaN、InGaAs/InGaAsP

     

    化學束外延生長法(Chemical Beam Epitaxy)是在分子束外延(MBE)和化學氣相沉積(CVD)基礎上發展起來的,通常用激光輔助化學束沉積方法可以制備各種半導體膜材、氧化物膜材。

     

    化學束外延生長系統

     

    化學束外延 Chemical Beam Epitaxy融合了分子束外延(MEB)和化學氣相沉積(CVD)優點,可以用來生長III-V族半導體薄膜,也可以用來沉積Si, SixGe1-x, FeSi2薄膜,以及氧化物薄膜,包括但不限于LiTaO3, 超導氧化物, TiO2, Al2O3, 摻鉺Al2O3, Y2O3, CdO, HfO2, LiNbO3, MgO, ErSiO, ZnO, ZrO2等。CBE已經顯示出非常顯著的優越性,例如:

     

    •    可控沉積和多元(3-5元、6元)摻雜、例如沉積GaAsInP;成分和厚度均勻性高(2% @直徑300mm,無襯底旋轉);

    •    樣品生長速率范圍大(10 nm/h至10μm/h);前驅體轉換率極高;襯底尺寸靈活:直徑100 - 300mm或更大尺寸襯底;

     

     

    •    按照設定模型,可一次性在一個襯底上生長高匹配的成分梯度或厚度梯度樣品,以研究成分和厚度對薄膜性能的影響

     

    •    準分子激光束/離子束/電子束輔助沉積3D復雜結構,在亞微米尺度上研究結構、形狀和尺寸對納米結構性能的影響;

    •    獲得多個歐盟項目支撐: 3D-DEMO, NUOTO, NANOBIUM;多種薄膜已經商業化:TiO2, Al2O3, Ta2O5, Nb2O5, HfO2等;

     

    設備配置:

    1.       熱漆外框架容納所有元件,標準RAL7035顏色;

    2.       專有熱源技術可達200℃,支持多大6種前驅體;

    3.       主要反應沉積腔體采用可調熱內壁,圓柱形液氮冷阱圍繞樣品臺。遠程控制,電腦監控各種參數;

    4.       輻射加熱襯底最低溫度可達700℃,其他加熱器支持襯底最高溫度達1400℃;

    5.       真空系統采用250l/s分子泵+10m3/h干泵;

    6.       全自動Load-lock,等離子體清洗可選。

    7.       生長過程中激光/電子/離子束輻照單元。

    8.      可逆組裝:(無襯底旋轉)均勻性可達±2%, (有襯底旋轉)均勻性可達+/-0.5%;

             或組合配置用以生長梯度樣品:厚度梯度支持1個前驅體,化學成分梯度支持2-6個。

             兩種方式可以通過程序控制可切換。

     

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