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    MEB550S高真空電子束蒸發鍍膜機
    發布日期:2022-02-13

    關鍵詞:磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、金屬膜、氧化膜、約瑟夫森結、超導、量子器件、量子比特、

                    多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system

                    Evaporation system、Nb-based superconductor、超導鋁結、Josephson junction

     

    產地:歐洲;     型號:MEB550;   應用:制備金屬膜、氧化膜,超導鋁結等

     

    高真空電子束蒸發鍍膜設備是量子器件制備中必不可少的儀器,用于制備各種高純金屬薄膜和氧化物薄膜。開展量子計算機實驗研究,如基于金剛石NV色心,離子阱,超導量子結,量子點電子自旋的研究,均需要蒸鍍各種高質量金屬薄膜來制備量子器件。此款高真空電子束蒸發鍍膜儀(HV E-beam evaporation system)得到全球科研工作者廣泛使用和推崇,并且具有良好的聲譽。利用上述配置,研究者可以制備各種高品質和高度可重復性薄膜材料。

    目前包括中國科學院物理所、清華大學、哈爾濱工業大學、蘇州醫工所、長春光機所、上海酸鹽研究所等單位均在使用相關設備;在國際上也獲得了美國(Yale  Univ, Princeton  Univ, UCSB, Chicago Univ, Raytheon)、英國Glasgow  Univ)、德國KIT Karlsruhe, Dresden  Univ)、日本(NTT, RIKEN, Tokyo  Univ)、加拿大(Waterloo  Univ, Sherbrooke  Univ)、法國 (CNRS, CEA, Thales Group, Grenoble, IEMN,  Univ Geneva)、瑞士(ETH Zurich)、瑞典(Chalmers  Univ)、俄羅斯(SKOLKOVO)、意大利STMicroelectronics)等國家的著名機構的高度認可。

     

    推薦配置:可以用于沉積幾乎任何金屬及氧化物薄膜,目前全球主要超導量子實驗室均使用該設備制備超導結(量子比特和約瑟夫森結)和量子器件,可以制備大面積、高度穩定性和可重復性超導結。

     

    全自動軟件包,支持半自動和手動模式,支持遠程網絡操作和維護。

    典型用戶:耶魯大學、UCSB、普林斯頓大學、滑鐵盧大學、法國科學研究中心(CNRS)、格拉斯哥大學、日本NTT、清華大學等,歡迎咨詢!

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