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    MEB 550SL3超高真空多腔體電子束蒸鍍系統
    發布日期:2022-02-13

     

     

     

    關鍵詞:磁控濺射、電子束蒸鍍、超高真空、鍍膜、約瑟夫森結、超導、量子器件、量子比特、

                    多腔體、Qubit、UHV、鈮基超導、氮化鈮、鈦氮化鈮、NbTiN、NbN、sputtering system

                    Evaporation system、Nb-based superconductor、超導鋁結、Josephson junction

     

    型號:MEB 550SL3      產地:歐洲       應用:約瑟夫森結(Al, Nb, NbN, NbTiN)

    超高真空多腔體電子束蒸發鍍膜儀

    電子束蒸鍍儀是納米器件制備中必不可少的儀器,用于蒸鍍各種高純金屬薄膜,如Ti, Au, Ni, Cr, Al, Al2O3等。電子束蒸發沉積法可在同一蒸發沉積裝置中安裝多個坩堝,使得可以蒸發和沉積多種不同的高質量金屬薄膜。開展量子計算機實驗研究,如基于金剛石NV色心,離子阱,超導量子結,量子點電子自旋的研究,均需要蒸鍍各種高質量金屬薄膜來制備量子器件,特別是在利用超導量子結來實現量子計算的實驗研究中,Josephson結的制備最為關鍵:需要在非常干凈的蒸鍍腔里進行,而且需要在不同的角度上蒸鍍兩次,兩次之間需要注入氧氣進行金屬氧化。所以樣品臺必須具有三維的旋轉功能,同時,蒸鍍腔內還需要有可以注射氧氣及其他氣體來實現清潔和氧化過程。

     

    推薦配置:可以用于沉積Ti, Ni, Au, Cr, Al, Al2O3等金屬及氧化物薄膜,目前全球主要超導量子實驗室均使用該設備制備超導Al結(量子比特和約瑟夫森結)和量子器件,可以制備大面積、高度穩定性和可重復性超導結。更詳細信息或資料,請咨詢我們!

     

    典型用戶:耶魯大學、日本NTT、中科院下屬研究所等

     

    歡迎進一步咨詢!

     

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