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    超快氣體閥(100Bar)
    發布日期:2021-03-08

     
    常規的氣體閥門開/關時間數毫秒(ms),而超快氣體閥開/關時間分別<100us / <500us,用戶包括美國勞倫斯伯克利實驗室(LBNL)、美國羅徹斯特大學(LLE)、美國國防部(DoD)、法國武器裝備總局(DGA)等單位。
     
    有一個案例說明:以前LBNL用其他供應商的氣體閥(真空腔室用11000 L/s的分子泵抽氣),重復頻率僅僅能夠達到0.1Hz;后來LBNL采用這個超快氣體閥,重頻很容易達到1Hz(用超快閥門之后,真空度起落較小,閥開關引起真空度從2E-7到2E-5 torr,而用常規閥真空度要降到E-3 Torr);不過這款氣體閥通常用在氣壓70Bar-100Bar的實驗。
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