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    (激光/EUV/X-Ray/電子/離子)束輔助化學束外延系統 - GMMBE/MOMBE
    發布日期:2021-03-11

    化學束外延起源于上個世紀80年代,它結合了分子束外延(MBE)和化學氣相沉積(CVD)技術的優點,適用于生長III-V族半導體薄膜,也可以用于Si, SixGe1-x, FeSi2薄膜沉積, 以及氧化物薄膜,包括但不限于LiTaO3, 超導氧化物, TiO2, Al2O3, 摻鉺Al2O3, Y2O3, CdO, HfO2, LiNbO3, MgO, ErSiO, ZnO, ZrO2等。

     

    化學束外延借用CVD(反應前驅體分子通過氣相傳輸到加熱襯底上)及MBE(前驅體流分子束本質——分子軌跡視線)的概念。一般說來,化學束外延的真正價值在過去并未得到承認,大多數熟悉這種技術的人都發現化學束外延很復雜,并且上世紀90年代化學束外延的各種優勢的結合未被完全挖掘,而這種結合卻是現在制造復雜設備的關鍵所在。目前,我們代理的設備是經過20年的持續不斷研發,將設簡單易用、工藝優化、所有的優點和設施集中于一套可靠的設備中。

           實驗證明化學束外延具有顯著的優點,例如:

    •    可控多元素材料沉積及摻雜,例如GaAsInP

    •    6’’襯底均勻性:無旋轉+/-1.5%,旋轉+/-0.5%                     •    沉積大面積薄膜:直徑100mm - 450mm或更大

    •    前驅體轉化率高,生長速率10 nm/h至20μm/h                       •    歐盟項目支撐: 3D-DEMO, NUOTO, NANOBIUM

    •    已經商業化薄膜: TiO2, Al2O3, Ta2O5, Nb2O5, HfO2            •    超高真空原位診斷技術、自組裝結構、工藝溫度很低

    •    可以一步實現復雜形狀和(成分/厚度)梯度薄膜材料    •    無氣相反應、工藝靈活(從外延生長到高度多孔材料)

          •    (激光,EUV,X-ray)光束/離子束/電子束輔助沉積, 用于3D打印、復雜材料堆棧、

              組織/晶相/成分選擇性調控、 改善外延和材料性能、降低熱應力和晶格失配

     

    設備配置:

    1.       熱漆外框架容納所有元件,標準RAL7035顏色;          2.       支持多達6種前驅體,專有熱源技術可達200℃;

    3.       主要反應腔體采用可調熱內壁,圓柱形液氮冷阱圍繞樣品臺;可遠程控制,電腦監控各種參數;

    4.       輻射加熱襯底最低溫度可達700℃,其他加熱器支持襯底最高溫度可達1400℃;

    5.       真空系統用組合泵:250l/s分子泵+10m3/h干泵;       6.       配備全自動Load-Lock,等離子體清洗功能可選。

    7.       在樣品生長過程中激光/電子/離子束輻照單元。

    8.      可逆組裝:(無襯底旋轉)均勻性優于±2%,(有襯底旋轉)均勻性優于+/-0.5%;組合配置用以生長梯度樣品:

             厚度梯度支持1個前驅體,化學成分梯度支持2-6個。兩種方式通過程序控制切換。

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