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    金屬薄膜制備專用電子束蒸發鍍膜系統
    發布日期:2021-03-11

     

    關鍵詞:熱障層、紅外波導、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、

                  歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路

                 金屬膜、Ni、Pt、Al、Au、Ge、Ti

     

    型號:MEB 400S,  產地:歐洲, 應用:沉積金屬薄膜

     

    坩堝:8×12cc, 材料分別是Ni, Pt, Al, NiCr, Au, Ge, Ti, Au金屬

     

    電子槍:10kW

     

    真空系統:采用低溫泵+干泵

                      配備薄膜真空計、潘寧/皮拉尼真空計

     

    樣品臺:可接納4英寸襯底

     

    襯底旋轉:雙星新運動

     

    膜厚控制儀:沉積速率0.01A/s,  厚度分辨率0.1A

     

    Load Lock可選

     

    控制系統:全自動控制,半自動和手動模式可用

            支持多級用戶權限設置和管理
     
            支持設備遠程操作、監控、診斷和維護
           
            系統自動報警及定位故障

     

    若對我們的設備感興趣,歡迎聯系我們!

     

     

     

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