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    金屬薄膜制備專用熱蒸鍍鍍膜系統
    發布日期:2021-03-11

    型號:MEB450S,   產地:歐洲,  應用:沉積金屬薄膜

     

    蒸鍍腔體:高600mm、寬450mm、深450mm

    熱蒸鍍源:6個熱蒸鍍源

     

    樣品臺: 可加載4×60mm襯底

    襯底旋轉:10 rpm

    襯底加熱:熱阻絲加熱可達300℃

                      采用熱電偶控溫

     

    厚度控制:采用 石英晶振膜厚控制儀

     

    襯底清洗及刻蝕:

                     配備直流離子槍

                     Ar、N2氣路用于反應離子束刻蝕

                     刻蝕不均勻性±4% @ 60mm晶圓

                     離子槍到襯底距離為300mm

                  

    控制系統:全自動控制,半自動和手動模式可用

            支持多級用戶權限設置和管理
     
            支持設備遠程操作、監控、診斷和維護
           
            系統自動報警及定位故障

     

     

    若對我們的設備感興趣,歡迎聯系我們!

     

     

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