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    多靶共焦濺射鍍膜設備(用于半導體膜、介電膜制備)
    發布日期:2021-03-11

    關鍵詞:單層膜、多層膜、半導體、光電子學、光子學、微機電系統、MEMS、微流體技術、

                    磁性膜、光學膜、金屬膜、絕緣膜、半導體膜、共濺射

                    連續沉積、進口磁控濺射、SiO2、ZrO2、TiO2、DC靶、RF靶

     

    型號:MP500S,  產地:歐洲 , 應用:沉積AlN、Si3N4,TiN薄膜,抗腐蝕硬質膜,半導體膜,氧化物絕緣層等。

    反應磁控濺射鍍膜儀是微米納米器件制備的必備設備,可用于制備普通金屬薄膜,氮化鋁(AlN)壓電薄膜,Si3N4薄膜,TiN薄膜,抗腐蝕硬質膜,半導體薄膜,氧化物絕緣層等,適用于半導體,光電子學,光子學,微機電系統(MEMS)和微流體技術等領域。

     

    MP500S 配置 如下:

    腔體尺寸:內徑500mm、高度400mm,電解拋光不銹鋼腔體

    真空系統:采用1000l/s分子泵(可選擇低溫泵)+30m3/h機械泵

                      配備薄膜真空計、潘寧/皮拉尼真空計

     

    磁控陰極:3個3英寸磁控陰極,

                      與樣品臺的距離手動可調(8-13cm)

                      每個陰極配備一個 圓柱形擋板,防止 污染

                      每個陰極配備一個電氣閥

                      每個陰極都可以是直流或射頻模式(可選)

    陰極電源:一個300W 13.56MHz射頻電源(可以升級到2kW)

                      射頻轉換開關可用于濺射或襯底清洗

                      一個700W 直流電源

                      允許共濺射或順序濺射(可達6種材料)

    反應氣路:2條氣路(Ar和另外一條),每個氣路配備MFC

     
    襯底尺寸:最大可加載4英寸襯底
                        
                      襯底可旋轉,轉速可達10rpm
     
                       采用電阻加熱可達700℃,配置水冷系統
     
     
    刻蝕及偏壓:射頻陰極電源用于提供樣品臺偏壓
     
                          直流濺射與射頻偏壓兼容
     

    Load Lock(可選):采用Al合金腔體,手動樣品傳動臂。

                                       采用5m3/h干泵抽氣

                                       配帶皮拉尼真空計

    控制系統:全自動控制,半自動和手動模式可用

            支持多級用戶權限設置和管理
     
            支持設備遠程操作、監控、診斷和維護
           
            系統自動報警及定位故障

     

    若對我們的設備感興趣,歡迎聯系我們!

     

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