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    熱蒸發真空鍍膜系統
    發布日期:2021-03-11

    關鍵詞:熱障層、紅外波導、lift-off工藝、HMET晶體管、PHMET晶體管、

                  歐姆接觸、肖特接觸、磁性材料、MEMS封裝、約瑟夫森電路

     

     

    thermal evaporation system

     

    熱蒸鍍用于Cr, Al, Au等。

     

    樣品可冷去到液氮溫度-77K

     

    真空系統采用擴散泵和機械泵

     

    腔體采用鐘罩型腔體

     

    6個熱蒸發元,采用陶瓷或鎢合金蒸發皿

     

    手動操作或半自動操作或全自動

     

    支持遠程維護和操作

     

    典型用戶:格拉斯哥大學

     

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